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专利名称：一种双石墨烯谐振梁式压力传感器专利类型：发明专利
发明人：樊尚春,赵鹏程,邢维巍申请号：CN201710263654.7申请日：20170421公开号：CN106918420A公开日：20170704
摘要：本发明公开了一种双石墨烯谐振梁式压力传感器，主要包括基底(1)、绝缘层(2)、方形平膜片(3)、第一石墨烯谐振工作梁(4)、第二石墨烯谐振工作梁(5)五部分。本发明采用二次敏感方式：方形平膜片用作一次敏感元件，它将压力转换为膜片上的应力；膜片上表面处于真空中的双端固支石墨烯谐振梁作为二次谐振敏感元件，工作时梁的谐振频率随作用在膜片上的压力的变化而变化，通过检测梁的谐振频率就可以实现对压力的测量。本发明中处于不同位置的石墨烯谐振梁对应力场等物理场敏感能力不同，而对温度场等敏感能力相近，因此可实现准差动测量，消除温度等环境因素带来的影响，提高测量精度和稳定性。
申请人：北京航空航天大学
地址：100191 北京市海淀区学院路37号
国籍：CN
代理机构：北京科迪生专利代理有限责任公司
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