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专利名称：一种扫描系统专利类型：发明专利发明人：陈子琪
申请号：CN201710775091.X申请日：20170831公开号：CN107421964A公开日：20171201
摘要：本发明提供的扫描系统，包括：至少一个探针、至少一个扫描驱动装置和一个旋转装置，所述探针的个数与所述扫描驱动装置的个数相同，一个所述扫描驱动装置上安装有一个所述探针。在一个扫描周期内时，扫描驱动装置控制探针位置保持不变，探针按照扫描驱动装置的驱动频率对被测样品进行扫描，而采用旋转装置带动被测样品旋转，因此，采用上述扫描系统对圆形被测样品进行扫描时，所得到的扫描轨迹为圆形。从而，提供了一种能够获得圆形的扫描轨迹的扫描系统，对圆形被测样品进行扫描时，不会遗漏该圆形被测样品上，表征该被测样品形貌的重要的点，能够得到圆形被测样品的准确的扫描结果。
申请人：长江存储科技有限责任公司
地址：430074 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
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