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(12)发明专利申请
(21)申请号 CN201410017751.4 (22)申请日 2014.01.15
(71)申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
地址 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大道519号
(10)申请公布号 CN103882395A
(43)申请公布日 2014.06.25
(72)发明人 张栋;汪爱英;柯培玲;孙丽丽
(74)专利代理机构 北京鸿元知识产权代理有限公司
代理人 单英
(51)Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
(54)发明名称
一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法
(57)摘要
本发明提供了一种工件表面的PVD双色拉
丝处理方法。该方法为:首先,采用PVD技术在工件表面沉积底层膜;然后,采用磁控溅射方法,以石墨为靶材,在底层膜表面溅射沉积类石墨层作为黑色膜;最后,进行拉丝处理,得到双色膜。与现有的金属碳化物等作为黑色膜相比,本发明将类石墨层作为黑色膜,其一方面与底层膜具有良好的结合力,另一方面与金属碳化物薄膜相比硬度较低且韧性好,从而易于与底层膜实
现分层,通过拉丝处理得到双色膜,避免了黑色膜无法拉掉或者两层膜同时被拉掉的现象。
法律状态
法律状态公告日
2014-06-25 2014-07-16 2016-03-16
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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