一种具有中性衰减特性的金属滤片及其制备方法

（12）发明专利申请

（21）申请号 CN201710940252.6 （22）申请日 2017.10.11

（71）申请人 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

地址 621000 四川省绵阳市绵山路64号

（10）申请公布号 CN107677367A

（43）申请公布日 2018.02.09

（72）发明人 车兴森;谢旭飞;张颖娟;刘慎业;侯立飞;杜华冰;杨轶濛 （74）专利代理机构 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人 王闯

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

一种具有中性衰减特性的金属滤片及其制备方法

（57）摘要

本发明涉及一种具有中性衰减特性的金属

滤片及其制备方法，涉及软X射线辐射流定量测量领域。该制备方法包括：于衬底的一侧表面形成第一导电金属层；于第一导电金属层远离衬底的一侧表面形成光刻胶层，曝光、显影后于光刻胶层形成第一孔阵列，于具有第一孔阵列的光刻胶层电镀形成第二导电金属层，去除剩余的光刻胶得具有第二孔阵列的样品；去除衬底，于第一导电金属层远离第二导电金属层的一侧表面形成

第三导电金属层后，按第二孔阵列刻蚀第二导电金属层，其操作可控，有效提高具有中性衰减特性的金属滤片的面均匀性、衰减特性和生产效率。具有中性衰减特性的金属滤片可同时标定和使用，提高了标定效率，降低了标定的不确定度。

法律状态

法律状态公告日2018-02-09 2018-02-09 2018-03-09

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效

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实质审查的生效

权利要求说明书

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说明书

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