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专利名称：一种透明导电氧化物CuAlO薄膜的制备方法专利类型：发明专利
发明人：张树玉,杨海,苏小平,黎建明,刘伟,闫兰琴,刘嘉禾申请号：CN200810222214.8申请日：20080911公开号：CN101373712A公开日：20090225
摘要：本发明属于薄膜材料制备领域，具体地说涉及一种透明导电氧化物CuAlO薄膜的制备方法。该方法利用磁过滤真空阴极电弧离子镀技术，以金属Al和Cu为阴极源，O为反应气体，采用双阴极共沉积的方法，在衬底片上制备多晶CuAlO薄膜，衬底温度为室温～300℃，衬底偏压为0～－100V。该方法工艺简单、成本低、可大面积均匀成膜，适于工业化推广和应用；采用该方法制备的CuAlO薄膜，为多晶CuAlO薄膜，薄膜结晶质量高、致密光滑、缺陷少、与衬底片附着力高。
申请人：北京有色金属研究总院,北京国晶辉红外光学科技有限公司
地址：100088 北京市海淀区新街口外大街2号
国籍：CN
代理机构：北京众合诚成知识产权代理有限公司
代理人：张文宝
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