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一种芯片清洗工艺

来源:画鸵萌宠网
(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利申请

(21)申请号 CN201910734370.0 (22)申请日 2019.08.09

(71)申请人 无锡市芯飞通光电科技有限公司

地址 214000江苏省无锡市无锡清源路20号太湖国际科技园传感网大学科技园立业楼

(10)申请公布号 CN110434112A

(43)申请公布日 2019.11.12

C206号

(72)发明人 翟继鑫

(74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司

代理人 胡彬

(51)Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

(54)发明名称

一种芯片清洗工艺

(57)摘要

本发明公开一种芯片清洗工艺,包括以下

步骤:a、装片;b、清洗;c、冲洗;d、漂洗;e、烘干。本发明的芯片清洗工艺将芯片装入吸塑盒的承载槽内,进而将各个芯片分隔开来,而后经超声波清洗、冲洗、漂洗后再烘干,其清洗效果好,且不会造成芯片碎裂。

法律状态

法律状态公告日

2019-11-12 2019-11-12 2019-12-06

公开 公开

法律状态信息

公开 公开

法律状态

实质审查的生效 实质审查的生效

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说明书

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