晶圆检测方法以及晶圆检测装置

（12）发明专利说明书

（21）申请号 CN201110106989.0 （22）申请日 2011.04.27

（71）申请人 中国科学院微电子研究所

地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号

（10）申请公布号 CN102759533B

（43）申请公布日 2015.03.04

（72）发明人 陈鲁

（74）专利代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司

代理人 骆苏华

（51）Int.CI

权利要求说明书 说明书 幅图

（54）发明名称

晶圆检测方法以及晶圆检测装置

（57）摘要

一种晶圆检测方法及晶圆检测装置，

本发明提供一种晶圆检测方法，包括：产生测量光；使测量光在待测晶圆上形成探测光斑；使探测光斑对待测晶圆进行扫描；位于探测光斑范围内的颗粒使测量光发生散射，形成散射光；测散射光，形成对应的与时间相关的散射光信号；基于与时间相关的散射光信号，获取颗粒在待测晶圆上的分布信息。所述晶圆检测装置，包括：提供测量光的光源；承载待测晶圆，使其进行移动或旋转的移动旋转平台；按一定频率探测散射光

的光电探测器；根据光电探测器探测到的与时间相关的散射光信号，获得颗粒在待测晶圆上的分布信息的数据处理单元。本发明晶圆检测方法效率较高，晶圆检测装置的设计难度较低。 法律状态

法律状态公告日2012-10-31 2012-10-31 2012-12-26 2012-12-26 2015-03-04 2015-03-04 2015-04-15 2015-04-15 2018-03-16

法律状态信息

公开 公开

实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权

专利申请权、专利权的转移 专利申请权、专利权的转移 专利权人的姓名或者名称、地址的变更

法律状态

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权利要求说明书

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说明书

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