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专利名称：一种基片样品架、镀膜设备及控制方法专利类型：发明专利
发明人：廖良生,黄稳,武启飞,徐飞,张敬娣,赵平申请号：CN201910270659.1申请日：20190404公开号：CN109837509A公开日：20190604
摘要：本发明涉及OLED真空蒸镀装备技术领域，公开了一种基片样品架、镀膜设备及控制方法。所述基片样品架包括安装板；样品架单元，设置于所述安装板上，所述样品架单元包括用于承载基片的基片盘组件和用于承载掩膜板的掩膜架组件，所述掩膜架组件设置于所述基片盘组件的下方；基片盘升降驱动单元，设置于所述安装板上，所述基片盘升降驱动单元的输出端连接所述基片盘组件，所述基片盘升降驱动单元能够驱动所述基片盘组件下降或上升，以使所述基片与所述掩膜板对位贴合或分离；旋转单元，设置于所述安装板，所述旋转单元驱动所述样品架单元绕自身内轴转动。本发明解决了蒸镀过程中镀膜效果不均匀的问题。
申请人：江苏集萃有机光电技术研究所有限公司
地址：215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇汾湖大道1198号
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：胡彬
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