基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器及检测方法[发明专利]

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专利名称：基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器及检测方

法

专利类型：发明专利发明人：廖小平,易真翔申请号：CN201210204625.0申请日：20120620公开号：CN102735934A公开日：20121017

摘要：本发明公开了一种基于微机械砷化镓基的悬臂梁相位检测器，该频率检测器包括砷化镓衬底（1），生长在砷化镓衬底（1）表面上的用于输出饱和电流的源极（2）和漏极（3），源极（2）与漏极（3）相对设置，设置在源极（2）和漏极（3）之间栅极（4），设置在在该栅极（4）上方且与栅极（4）相对的悬臂梁（6）。检测方法包括当在下拉电极（8）和悬臂梁（6）之间加载直流偏置时，悬臂梁（6）被下拉且与栅极（4）接触时，通过第一压焊块（12）加悬臂梁（6）上的待测微波信号加载到的栅极（4）上，经过一个电容和滤波器之后，通过检测源极（2）和漏极（3）饱和电流的大小最终实现相位的检测。本发明结构简单，易于测量。

申请人：东南大学

地址：210096 江苏省南京市四牌楼2号

国籍：CN

代理机构：南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

代理人：柏尚春

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