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专利名称：适用于脉冲激光镀膜的光路装置及其脉冲激光镀膜
装置
专利类型：发明专利
发明人：朱佳敏,张智巍,何虎,刘士伟,陈思侃,吴祥,姚林朋,赵
跃
申请号：CN201711447344.7申请日：20171227公开号：CN108277457A公开日：20180713
摘要：本发明提供了适用于脉冲激光镀膜的光路装置及其脉冲激光镀膜装置，包括光路系统(2)；光路系统(2)产生的脉冲激光光束(21)在靶材(341)表面的局部区域形成一组扫描聚焦光斑组(25)。扫描聚焦光斑组(25)在靶材(341)表面上的扫描路径包括直线段路径(411)、弧线段路径(412)；直线段路径(411)、弧线段路径(412)依次交替连接。本发明能够令激光束均匀地扫描靶材，从而提高靶材表面的平整度，提供镀膜产品的质量，且延长靶材的使用寿命。
申请人：上海超导科技股份有限公司
地址：201203 上海市浦东新区芳春路400号1幢3层301-15室
国籍：CN
代理机构：上海汉声知识产权代理有限公司
代理人：庄文莉
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