光栅剪切干涉高精度波像差检测方法[发明专利]

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专利名称：光栅剪切干涉高精度波像差检测方法专利类型：发明专利发明人：卢云君,唐锋,王向朝申请号：CN202010934328.6申请日：20200908公开号：CN112229604A公开日：20210115

摘要：光栅剪切干涉高精度波像差检测方法，该方法采用的光栅剪切干涉仪系统包含：光学级照明系统、待测光学成像系统、物面衍射光栅版、像面衍射光栅版、二维光电传感器和计算处理单元。物面衍射光栅版和像面衍射光栅版分别置于待测光学成像系统的物面和像面。通过相移法精确提取1级衍射光与‑1级衍射光的剪切相位，按照2s剪切率进行重建得到原始波前，提高了待测光学成像系统的波像差检测精度，其中s为光栅剪切干涉仪的剪切率。该方法具有可测的数值孔径范围大、光栅干涉仪的剪切率可调，可精确测量光学成像系统的波像差等优点。

申请人：中国科学院上海光学精密机械研究所

地址：201800 上海市嘉定区清河路390号

国籍：CN

代理机构：上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：张宁展

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