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专利名称：基于石墨烯的集成化气敏传感单元专利类型：实用新型专利
发明人：王峥,吴超,庞振江,李良,王海宝,耿亮,杨文,奥琛申请号：CN201921417550.8申请日：20190828公开号：CN211453446U公开日：20200908
摘要：本实用新型公开了一种基于石墨烯的集成化气敏传感单元，包括：Si+SiO衬底、Ti/Pt电极、石墨烯、NH敏感部、H敏感部以及NO敏感部。Ti/Pt电极溅射于Si+SiO衬底上；石墨烯设置于Si+SiO衬底上；NH敏感部设置于石墨烯上；H敏感部设置于石墨烯上；以及NO敏感部设置于石墨烯上。借此，本实用新型的基于石墨烯的集成化气敏传感单元，集成了三种气敏传感单元，且成本低，工艺简单。
申请人：北京智芯微电子科技有限公司,国网信息通信产业集团有限公司,国家电网有限公司
地址：100192 北京市海淀区西小口路66号中关村东升科技园A区3号楼
国籍：CN
代理机构：北京中誉威圣知识产权代理有限公司
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