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氯硅烷介质的物化性质：
四氯化硅
分子式：SiCl4 分子量：169.2 液体密度：1.49kg／l
气体密度：0.0103Kg/1 latm下沸点：57.6℃
1atm下熔点：-70℃ 粘度：0.33cp
物料性质：常温下纯净的四氯化硅是无色、透明油状液体、比重较大、有刺鼻气味。其化学性质如下：
(1)易水解、潮解、在空气中强烈发烟，水解时生成盐酸，腐蚀机器；
(2)易挥发、易汽化、沸点低；
(3)易与氨作用生成浓雾；
(4)毒性较小，为四氯化碳的1／2。
三氯氢硅
分子式：SiHCl3 分子量：135.4 液体密度：1.318kg/l
气体密度：0.0055kg/l 1atm下沸点：31.5℃
latm下熔点：-128℃ 粘度：0.29cp
物料性质：常温下纯净的三氯氢硅是无色、透明、挥发性、可燃液体，有较四氯化硅更强的刺鼻气味。其化学性质如下：
(1)易水解、潮解、在空气中强烈发烟，水解时生成盐酸，腐蚀机器；
(2)更易挥发、更易汽化、沸点更低；
(3)更易制备、易还原；
(4)易着火、易爆炸、着火点28℃，着火温度220℃，燃烧时产生氯化氢和氯气；
(5)对金属极稳定；
其蒸汽具有弱毒性，与无水醋酸和二氯乙烯毒性程度相同。
动力黏度单位：厘泊（cP）
1Pa.s=103 cP
动力黏度=密度*运动黏度
功率单位换算：1千瓦=1000焦耳/秒=860千卡/小时
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