专利名称：散热结构和堆叠结构专利类型：发明专利
发明人：郑允玮,周俊豪,李国政,陈英豪申请号：CN202010288296.7申请日：20200414公开号：CN112310051A公开日：20210202
摘要：本发明描述了形成在三维芯片结构的功能或非功能区域中的散热结构。这些散热结构被配置为将在三维芯片结构内产生的热量传递至三维芯片结构上或外部的指定区域。例如，三维芯片结构可以包括垂直堆叠在衬底上的多个芯片、介于多个芯片中的第一芯片和第二芯片之间的第一钝化层以及嵌入第一钝化层中并且配置为允许导电结构穿过的散热层。本发明还涉及堆叠结构。
申请人：积体电路制造股份有限公司
地址：中国新竹
国籍：CN
代理机构：北京德恒律治知识产权代理有限公司
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