专利名称：光源装置专利类型：发明专利发明人：住友卓
申请号：CN200910260858.0申请日：20091221公开号：CN101770178A公开日：20100707
摘要：提供一种即使高温等离子体(LPP)沿着光轴方向连续地振动，也可以防止光源闪烁的光源装置。本发明的光源装置，具有：相对配置有一对电极(14、15)并且封入有放电介质的放电灯(1)以及向着一对电极(14、15)间照射能量束(8)的能量束照射单元，其特征为：上述能量束照射单元在对电极(14、15)供电而使放电灯(1)点灯时，向着形成在电极(15)的前端附近的辉点(61)照射能量束(8)。
申请人：优志旺电机株式会社
地址：日本国东京都千代田区
国籍：JP
代理机构：中原信达知识产权代理有限责任公司
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