蒸发台坩埚装置及蒸发台系统[实用新型专利]

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专利名称：蒸发台坩埚装置及蒸发台系统专利类型：实用新型专利发明人：邵旭,王志达,袁守良申请号：CN201920305346.0申请日：20190311公开号：CN209602629U公开日：20191108

摘要：本实用新型涉及半导体器件芯片制造技术领域，公开了一种蒸发台坩埚装置及蒸发台系统，具体的，蒸发台坩埚装置包括基板、两坩埚磁极臂、挡板驱动器、挡板驱动器固定架、两电子保护组件以及坩埚；两电子保护组件分别设置在坩埚的第一端的两侧，挡板驱动器固定架设置在坩埚的第二端，挡板驱动器设置在挡板驱动器固定架远离所述坩埚的一端；基板上设置有电子固定组件，电子固定组件用于固定电子，坩埚的置物孔的口径为40mm‑80mm。本实用新型能够在蒸发过程中提升速率，减少崩源，延长坩埚使用寿命，提升产品质量，提高产能。

申请人：吉林华微电子股份有限公司

地址：132013 吉林省吉林市高新区深圳街99号

国籍：CN

代理机构：北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：肖苏宸

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