氧化物薄膜晶体管及其制造方法[发明专利]

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专利名称：氧化物薄膜晶体管及其制造方法专利类型：发明专利发明人：黄梦,文国哲

申请号：CN201710017280.0申请日：20170110公开号：CN108288650A公开日：20180717

摘要：本发明提供了一种氧化物薄膜晶体管及其制造方法，其中，所述氧化物薄膜晶体管包括：衬底以及形成于所述衬底上的金属氧化物有源层、栅极绝缘层、栅极、源极、漏极、中间层和源漏引线层，所述栅极绝缘层和中间层包围所述栅极，所述源极和漏极位于所述栅极的相对两侧，且与所述源漏引线层连接；其中，所述源极和漏极均具有一合金层，所述合金层与所述金属氧化物有源层相接触。在本发明提供的氧化物薄膜晶体管及其制造方法中，通过采用具有场松弛效果顶栅结构，以降低栅极与源极、漏极之间的场效应对于薄膜晶体管性能的影响，同时在金属氧化物有源层上形成了合金层，以避免器件中的氢渗透至金属氧化物有源层中与氧结合形成氧空位，由此提高所述氧化物薄膜晶体管的可靠性。

申请人：昆山国显光电有限公司

地址：215300 江苏省苏州市昆山市开发区龙腾路1号4幢

国籍：CN

代理机构：上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：智云

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